哪些因素會(huì)造成STS壓力傳感器精度的誤差呢？
點(diǎn)擊次數(shù)：956 更新時(shí)間：2020-08-25
近經(jīng)常有人問(wèn)我們STS壓力傳感器的綜合精度和非線(xiàn)性誤差之間有什么關(guān)系，綜合精度包含哪些方面，哪些因素會(huì)造成STS壓力傳感器精度的誤差呢？今天我來(lái)給大家說(shuō)說(shuō)這其中的關(guān)系，其實(shí)造成傳感器誤差的因素有很多，下面我們說(shuō)四個(gè)無(wú)法避免的誤差，這是傳感器的初始誤差。
1、非線(xiàn)性誤差：這是一個(gè)對(duì)STS壓力傳感器初始誤差影響較小的因素，該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線(xiàn)性，但對(duì)于帶放大器的傳感器，還應(yīng)包括放大器的非線(xiàn)性。線(xiàn)性誤差曲線(xiàn)可以是凹形曲線(xiàn)，也可以是凸形曲線(xiàn)稱(chēng)重傳感器。
2、偏移量誤差：由于STS壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定，因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
3、靈敏度誤差：產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過(guò)程的變化。
4、滯后誤差：在大多數(shù)情形中，STS壓力傳感器的滯后誤差可以忽略不計(jì)，因?yàn)楣杵哂泻芨叩臋C(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
STS壓力傳感器的這個(gè)四個(gè)誤差是無(wú)法避免的，我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設(shè)備，利用高新技術(shù)來(lái)降低這些誤差，還可以在出廠(chǎng)的時(shí)候進(jìn)行的誤差校準(zhǔn)，盡大的可能來(lái)降低誤差以滿(mǎn)足客戶(hù)的需要。
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